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1 .氣源
　　氣體的性質（高濃度氧或空氣）及干燥度對臭氧發生器的效率及性能有著重要的影響。氣源中含有的水氣及微粒應被去除到最少，存在于氣源中的雜質會沉積在電極表面影響放電。源氣中的水氣會導致兩個嚴重的問題。第一，將會造成臭氧產量急劇下降，第二，空氣中的一小部分氮將被氧化溶解在水氣中形成硝酸對設備造成腐蝕。源氣的露點應保持在-60℃以下以防止這類事情的發生。
　　使用空氣作氣源時，臭氧產率隨濃度的上升快速下降，例如，當臭氧濃度為13g/m3時（1.1%重量比），每度電能產生35克的臭氧，當臭氧濃度為20g/m3時，每度電只能產生28克左右臭氧。如要達到50g/m3的濃度，幾乎無產量。因而采用空氣作氣源時，往往采用10-20g/m3左右的臭氧濃度（1-1.5％重量比）。
　　以下幾個原因使得采用高濃度氧氣作為氣源成為一個不錯的選擇:

　　第一，高濃度氧氣的生產工藝保證了氣源的純凈和低露點----可輕松達到-60℃以下。
　　第二，高濃度氧氣大幅度提高臭氧發生器的效率和性能，例如，采用高濃度氧氣（92％）時，當臭氧濃度為50g/m3時（這樣的濃度是空氣法無法達到的），一個設計優良的臭氧發生器，每度電能產生100克以上的臭氧。
　　第三，研究表明，臭氧的溶解度符合亨利定律。這意味著臭氧的濃度越高，臭氧的溶解效率也就越高。將臭氧濃度從1%提高到4-6%，同樣的劑量可以使更多地臭氧溶解在水中而且同時相應的提高處理效果。
　　第四，高濃度臭氧氣使得需要溶解的氣體體積減少到空氣法的1/5,加壓泵功耗中有空氣法臭氧的1/5。
　　第五，氧氣制備系統提供的清潔環境可增加臭氧放電組件的使用壽命，并相應地減少系統的維護費用。現代一般采用分子篩變壓吸附法制取高濃度氧氣。
2. 放電電源
　　臭氧由于是在高能電磁場下形成的，因而需要有外界提供相應的能量，這就是臭氧放電電源，電源頻率的提高可減少設備體積，降低放電電壓，提高系統的安全性和可*性，但中高頻電源的應用需要電力半導體技術做支撐。臭氧在應用之初,使用的是工頻電源,設備體積龐大。隨著電力半導體技術的飛速發展,中高頻臭氧發生器電源得到大幅度的提高，目前飛立品牌在大功率臭氧發生器上普遍采用了中高頻電源(大于400Hz)。在小型臭氧發生器也有采用工頻電源的。
3 .臭氧發生筒
　　臭氧發生筒是臭氧發生器的核心元件之一，也是故障高發區。它影響到臭氧發生器的放電電壓、效率。因而飛立臭氧發生筒在性能與保養上都達到了國際要求標準，也是飛立品牌臭氧發生器研發能力的重要標志。
4. 控制及電器元件
　　一臺先進的臭氧發生器應具備各種控制及保護功能，飛立臭氧發生器均以PLC為控制核心，具有遠控功能，并可由主控臺對系統進行控制。可實現與循環泵、加壓泵等的聯動。具有短路保護、冷卻水過溫保護、變壓器過溫保護、機柜開關保護等各項聯鎖保護功能。各種控制及傳感元器件的性能直接影響到臭氧發生器的穩定性。
　◆臭氧能確保大流量及高溫季節時水質的穩定性，高溫及流量大時，水質往往不佳，此時，如果使用氯制劑，則需大量投加，這將帶來一系列副作用，如pH值的變化、對呼吸道及人體的刺激等；而大量投加臭氧則無此副作用。
    ◆使用臭氧發生器，可大大降低水處理工藝的管理及操作難度，同時臭氧發生器具有很高的安全性，而氯制劑在運輸、儲藏、使用時具有一定的危險性。
    ◆臭氧可分解水中的有機物且具有微絮凝作用，因而在正常客流量下，可以不用絮凝劑。
    ◆在一定的使用條件下，如逆流式循環、不使用活性炭濾罐，可將臭氧作為水處理藥劑，而不必投加氯制劑、絮凝劑、pH調節劑。

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